第277章 离光刻又进了一步（1 / 2）

<p> 第277章 离光刻又进了一步</p><p>曾书记看着手中上级批复下来的报告，一时间有些怔住了，他只觉得自己还是小看了方叶的能量,更是万万没想到，文件从出发送往北京,前前后后不足半个月的时间就批复了下来，而结果则完全超出了他的意料，上面赫然写着:‘经主席指示，同安作为示范县，就不要用条条框框来束缚,同意实行，周蒽莱。’报告中同时隐去了‘未来经济改革’这样的字眼,曾书记知道,从此以后同安县的一应体制再也无人可撼动了。</p><p>放下报告,曾书记拿起了桌上的电话:“接同安县华昌集团，找方叶董事长。”</p><p>钉铃铃，一阵急促的电话声打破了办公室的宁静，只是房内空无一人，过了好一阵，门被推开,许耀明拿起了电话:“您好，哪位。”</p><p>“我是省委曾席圣，方叶同志在吗?”曾书记问道。</p><p>许耀明两手握着电话，连忙恭声道:“曾书记您好，董事长没在,他去上海了。”</p><p>“出差上海了?”曾书记复问了一句。</p><p>“是的，曾书记。如果您要联系他的话，可以晚些时候直接拔至上海华为研究院，或者由我为您转达。”许耀明说道。</p><p>曾书记想了想便说道:“也没有什么急事,你带我通知一下方叶同志,他的报告上级已经批复,同意实行,今天我会让人将报告送往同安县。”</p><p>“好。”许耀明将汇报内容复述了一遍,那头，曾书记见没有联系到方叶便挂断了电话。</p><p>时空辗转,黄浦江中千舟争渡,帆船、渡船、机动运输船，沿着江面川流不息，此刻杨浦区华为研究院,光源光学精密机械实验所门口，方叶刚下车就看到了首席科学家夏培肃带着一行人已经等候在面前。</p><p>“夏博士，又见面了。”方叶与她握了下手,却见夏培肃道了声好，便随即转过了身，介绍起了身旁的一位长者。</p><p>“董事长，这位是亚浦耳灯泡厂的胡西园老先生,光学研究所的紫外线灯就是老先生带队历时一年完成了研制工作。”夏培肃的话语之中充满了敬重,而后她又将方叶的身份报了出来。</p><p>方叶朝胡西园看去，而这些老先生也正好奇的打量着他，方叶连忙跨前一步，朝胡西园伸出了双手，言语之中满是敬佩之情的说道:“久仰胡老先生大名，让老先生亲临迎接，罪过罪过。”</p><p>胡西园略有好奇的打量着眼前这位看上去年不过四旬，皮肤白暂细腻,全身又透着一股子果决与领导气息的男子，他与方叶握了握手说道:“方董事长好,余大半生没有为国家做出什么有用的贡献,久仰实不敢当。”</p><p>方叶却是说道说:“胡老先生实业救国，创办的亚浦耳灯炮厂，制造出了国人第一盏白炽厂，更是力挫美国产品，让国人都用上了本国的电灯，一心致力于实业振兴中华，是我敬佩之人。”</p><p>胡西园微微—愣,握着方叶的手迟了下,只见眼前这位名华昌集团董事长的男子，眼神之中满是真诚与敬意,这与他看到的许多人都不同:“没想到，余区区微薄贡献,方董事长竟能如此了解，只是徒有一点虚名罢了，实令鄙人汗颜。”</p><p>不过,这位老先生似也是一位耿直之人，他此前并未听说过华昌集团，于是只好歉声问道:“实在抱歉,在下虚增岁年,不知华昌集团从事何业,又在哪里?”两人肃立而对,就见方叶回道:“在安徽庆州同安县,主要造机电产品，如机床、电机一类产品，小小公司不成气候,老先生没听过很正常。”</p><p>“那个同安文学派的同安县?”胡西园问道。</p><p>方叶微笑着点头，胡西园侧是叹道:“长江后浪推前浪,方董事长年轻有为，如此年纪竟创造了集团公司，好大的气魄。”</p><p>胡西园当然知道‘集团’是什么，虽然他不知道方叶的产业有多大，但是能称为集团的，至少旗下有数个公司,而真正让他的心中感到奇特的是，集团公司这种称呼，自新中国诞生以后就已经绝迹了。</p><p>“不敢不敢。”方叶裂嘴笑道。</p><p>夏博士见方叶说一半留一半，她知道方叶这是在长者面前处事低调,不过他那有些猾里猾气的表情,还是忍不住想扯穿，于是嘴角微微一翘,笑了起来，她朝胡西园说道:“胡老先生,华为是华昌集团旗下的产业，还有华音录音机、华威电机、华明焊机、华昌机电。”</p><p>胡西园一听，顿时神情一怔，眼神尽是呆住了，半响才回过神来，惊问道:“华音和华威都是华昌集团的产业?真,真是不得了啊!”华音录音机风靡宇宙，全国还有几人不知?只是一直以来，它都由上海无线电厂代工制造,所以不知内情的人，还以为上海本土品牌,原来竟然是华昌旗下的公司品牌。</p><p>至于华威，胡西园已在上海待了几十年,他当然知道那是以前的大威电机厂更名之后的新厂名,没想到竟然也是出自眼前这位年轻人之手。</p><p>方叶朝夏博士眨了眨眼,被人当面拆穿，当然是有些尴尬,他之所以不说，其实就是不想在长者面前装,这年月可不是未来,你就是再牛,在长者面前,也要低调一些，这是最基本的礼节。</p><p>方叶连忙歉了歉身说道:“长者面前,后辈小生，不敢自夸。”</p><p>却见胡西园郑重的抬手一拱:“真是有眼不识泰山，相比起来,我真是空活大半生了。”</p><p>方叶只好拱手回礼，言称不敢,客套就此结束,几人随即走进了研究所，只见研究台上正架着一台长方形的机器，表面是一块玻璃，尺寸并不大，长宽大约三百毫米的样子。</p><p>夏博士朝待在机器旁的一位青年招了招手，而后对方叶说道:“这位是唐九华研究员,复旦大学机械系毕业,52年在长春光机所实习，53年加入华为,这台机械就是他设计的。”</p><p>方叶在脑海里检索了一会，这个名字他并没有听说过,但是能到光机所实习，那在曾经的历史上必定不是泛泛之辈,方叶与他握了握手,而后唐九华便立即介绍了起来。</p><p>就见他说道:“这台机器采用了当前世界流行的低压汞化银技术紫外线灯,功率40瓦,中波长机器玻璃有效复照行程长266毫米，宽度240毫米，采用云光厂一级光学玻璃制造。”</p><p>设备在方叶看来很简单,其实就是里面装了一个中波长紫外线灯，灯上面是一块光学玻离平板,通过电机丝杠移动紫外灯工作，这与未来的复印机原理基本如出一辙，方叶听得连连点头，只到唐九华介绍完，他便问道:“能演示吗?”“可以。”唐九华肯定的点起了头，接着就边操作边介绍了起来。</p><p>他先将一块几乎绝黑，上面刻着空体字的菲林片放到了平板玻璃上,而后又拿起一块很薄的玻璃,将菲林片给压了起来,唐九华解释了原因,原来紫外线光透过菲林片时,菲林上刻字未涂敷的部分会暴露在外，用以透过紫外线。</p><p>而由于菲林片是曝光原理,它与曝光的材料不能直接接触,否则曝光一次就废掉一张菲林，研究所为了解决这个问题,便想到了叠加一块透明薄光学玻璃来解决。</p><p>薄玻璃放好之后，为了避免其它光源对于紫外线的影响，因此还需要用一个罩子将整个表面罩起来,考虑到上面是薄玻璃一般的材料重量太大不能用,于是又采用了1941年就工业化的挤塑聚苯乙烯泡沫板，板材外壳由塑料制成，使得重量轻重达到了一个平衡状态。</p><p>而复印的材料基材是一张相片纸,纸上再涂敷照相用的光学显象剂，将其放到薄玻璃之上,然后盖上罩子，压平纸张，—切准备工作完成。</p><p>唐九华忙完了一切，而后对方叶说道:“为了增加首次曝光成功率，启动机器前还需要预热十分钟。”</p><p>方叶抬起手表看了看说道:“好，那我们就等十分钟。”时间一幌而过，当唐九华按下启动开光后，就听到机器里传来一阵马达的转动声,声音节奏连贯平缓,但速度却是很慢，大约过了十几秒才停了下来。</p><p>唐九华揭开盖子，将里面的相片纸拿了出来,看了看，而后递给了方叶,回道:“曝光很成功。”</p><p>方叶接过相片纸—看，就见上面,印着黑色的‘祖国万岁’四个繁体汉字,字体线条连贯,十分的清晰,方叶说道:“去显微镜镜下看一看。”</p><p>夏博士连忙带着方叶来到了显微镜前,并且调整好了倍数，方叶将相片纸放了上去，坐在显微镜面前沿着字体线条，看得十分的认真,缺点还是有的,最大的问题不是断线,而是线条毛边。</p><p>方叶抬了起头说道:“曝光很成功，线条也流畅，没有出现断线,或线条上漏点的情况,刻蚀也明显出现了层次感,说明具有一定的深度,但是你再看看,线条有毛边,而且很多。”</p><p>方叶起了身，夏培士和唐研究员两人依次看了起来,确实如方叶所说，显微镜倍数已经很低了,线条锯齿状更是清晰可见。</p><p>唐研究员有些不解的问道:“这样的锯齿状,也有问题?”方叶反问道:“不如假想一下，如果这是刻蚀在硅片上的电路,两条线路相距极近，这种程度的锯齿状,经过镀铜以后可能会出现什么问题?”唐研究员如梦初醒,他回道:“可能会造成电路接触不良，如果相距极近的话，还可能会造成电涌问题。”</p><p>“对头。”方叶说道:“现在一个汉字的尺寸差不多三四公分,仅仅二三十倍的光学检查,锯齿状就已经这么明显了，如果将其放到更小，比如整个电路只有一个汉字那么大，上面的电路线宽低于300微米,间距100至200微米，以现在的水平,电路刻蚀的成品率会有多少?”两人在交谈着,但是一旁的胡西园却是听得一脸懵,他完全不知道两人在讨论什么，一会硅片,一会电路,一会刻蚀，在他看来，紫外灯管那不是医院和洗相片的暗房才用的吗?这和电路又有什么关系呢?</p><p>唐研究员沉思了一会说道:“如果微米级刻蚀，估计连一半的成品率都没有。”</p><p>方叶为了不打击研究员的信心，便说道:“设备的研制取得了极大的成功，这是值得庆贺的。”</p><p>就见方叶继续说道:“不过还有一些问题要解决，一是刻蚀的深度不小于20微米,并且要均匀、不能有明显的波峰出现，最好能测出深度尺寸二是锯齿的问题要极力缩到最小,最好一百倍以上显微镜下检测不能有明显的锯齿状三是机器需要改进，将这些盖板什么的全部整合到一起，方便操作。”</p><p>唐研究员拿起记事本，将问题记了下来，方叶为了方便解释，便来到黑板前，画出了线路锯齿状和蚀刻线槽断面截图,而后解释了起来:“找出锯齿状的原因，是因为菲林片的问题，还是曝光的问题,然后加以解决。”</p><p>“至于线槽内部为什么要平坦，原因也不复杂，如果断面出现高低起伏的波峰,那么镀铜以后,线路上可能会出现点状起伏，甚至是空穴，影响电流传输。”</p><p>唐研究员思考了一会说道:“第一个问题,菲林片的影响比较大，我们现在的菲林是人工制造的。”</p><p>方叶从机器里拿出菲林片，然后又放到了显微镜下看了起来,字体的边缘坑坑洼洼,便问道:“你们怎么制作的菲林?”唐研究员说道:“先在菲林上涂上黑色遮光材料,然后由人工雕刻出所需字体。”</p><p>方叶重重的呼了一口气,思考了起来，现在这个时代，没有计算机制版，没有紫外光复印机,确实只能靠人工来雕刻菲林，想到这里,他便对二人说道:“菲林的问题成立一个专项，无论是遮光、显像、透光新材料的研究,还是雕刻人才和工具，全部进行专项研究。”</p><p>1955年,美国的贝尔实验室就已经在进行菲林集成电路刻蚀的实验了,他们采用的也是华为研究院同样的方法，而第一代精密菲林片的电路刻蚀,就是由技术工程师，在显微镜下手工完成的。</p><p>每块电路的线宽、间距、功能的实现，全部依赖人工完成,这不仅需要精通高级电路,还需要有极具天赋的雕刻技能,这样的人目前的中国可是不容易找。</p><p>方叶将自己的要求都讲了出来,而后对夏博士说道:“研究院这边，要在全国专科、本科大学去找人才，重点到机电或电子学系找那些性格沉稳,电路图又画得极好的人才，找到了就申请调到华为来,可以多招一些，到时开个班,不干别的，专门学习画微型电路图。”</p><p>“需要多少经费,到时算一算报上来,我会让集团拔款。”方叶最后说道。</p><p>夏博士想了想说道:“这些分类的研究都有基础,花不了多少钱,一年三五十万足够了。”</p><p>“行，没问题。”方叶回答得很干脆。</p>